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蔡司掃描電子顯微鏡EVO系列:EVO10/EVO15/EVO25 作為高性能的掃描電子顯微鏡,蔡司掃描電鏡EVO系列可為顯微鏡專家和新用戶帶來直觀且易操作的使用體驗。憑借豐富的選
蔡司掃描電子顯微鏡EVO系列:EVO10/EVO15/EVO25
作為高性能的掃描電子顯微鏡,蔡司掃描電鏡EVO系列可為顯微鏡專家和新用戶帶來直觀且易操作的使用體驗。憑借豐富的選件,EVO可根據(jù)您的需求量身定制,無論是在生命科學(xué)、材料科學(xué),抑或是在日常工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域。
當(dāng)您配置多功能解決方案用于顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室時,不同規(guī)格的樣品室和樣品臺選件可滿足您的各類應(yīng)用需求。即使是對于用掃描電子顯微鏡難以處理的大型工業(yè)部件和樣品,它也同樣能夠滿足您的需求。
選用可提供更高電子束亮度以增強圖像分辨率和降低噪聲的成熟技術(shù)六硼化鑭(LaBg)電子槍,讓掃描電子顯微鏡在最大圖像質(zhì)量下發(fā)揮出色的檢測性能。
借助可變壓力操作模式,讓您體驗EVO對非導(dǎo)電樣品出色的成像和分析。
安裝多種分析探測器的設(shè)計,EVO 可協(xié)助您完成要求嚴苛的顯微分析應(yīng)用。
EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結(jié)合在一起, 同時能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。
顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案
不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué), 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本,甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。 |
優(yōu)異的圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時,選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
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EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分,通過重新定位感興趣區(qū)域,并以多種方式收集數(shù)據(jù),形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗,或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。 |
適合更多用戶操作:
對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶操作都很方便
在實際的實驗室環(huán)境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說,操作SEM就變得具有挑戰(zhàn),比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求,用戶界面選項既能滿足有經(jīng)驗的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。
出色的數(shù)據(jù)質(zhì)量
使用六硼化鑭(LaB])電子槍獲取更豐富的數(shù)據(jù)
相比于傳統(tǒng)的發(fā)針型鎢燈絲,六硼化鑭陰極發(fā)射的電子可以滿足您對圖像質(zhì)量的額外需求。而熱輻射成像掃描電子顯微鏡是從傳統(tǒng)超熱發(fā)針型鎢燈絲中產(chǎn)生電子,所以使用六硼化鑭熱電子槍具有明顯優(yōu)勢。六硼化鑭晶體能夠從更小的點光源中發(fā)射出幾乎相同數(shù)量的電子,其結(jié)果是獲得了高達10倍的束流亮度。您可通過以下兩種方式來充分發(fā)揮這-優(yōu)勢:
■在電子探針大小(如分辨率)不變的情況下,使用更高的探針電流輕松完成圖像導(dǎo)航與優(yōu)化。
■在探針電流(信噪比)不變的情況下,通過更小的束流直徑提高圖像分辨率。
蔡司EVO應(yīng)用案例:制造與裝配工業(yè)
典型任務(wù)與應(yīng)用
■質(zhì)量分析1質(zhì)量控制
■失效分析/金相研究
■清潔度檢驗
■對顆粒進行形態(tài)和化學(xué)分析,以符合ISO 16232 和VDA 19 part 182的標(biāo)準(zhǔn)
■非金屬夾雜物分析
蔡司EVO的優(yōu)點
■通過三種不同規(guī)格的樣品室提高樣品靈活性;最大樣品重量可達5kg;樣品的高度和寬度分別可達210 mm和300 mm
■智能成像和自動化工作流程可以實現(xiàn)高效的用戶交互
■針對每類樣品優(yōu)化設(shè)置
■適用于非導(dǎo)電復(fù)合材料、纖維、聚合物和織物成像的可變壓力(VP) 技術(shù)
■使用C2D二次電子探測器完成可變壓力成像,以提高數(shù)據(jù)質(zhì)量
■用于高級形貌與化學(xué)分析的全集成式顆粒分析和識別解決方案(SmartPI)
蔡司EVO應(yīng)用案例:鋼和其它金屬
典型任務(wù)與應(yīng)用
■結(jié)構(gòu)的成像和分析,金屬樣品和夾雜物的化學(xué)特性與晶體結(jié)構(gòu)
■相、顆粒度、焊點和失效分析
蔡司EVO的優(yōu)點
使用EVO性能出眾的背散射電子(BSE)探測器獲取鐵素體鋼、奧氏體鋼、馬氏體鋼或二聯(lián)鋼和高級合金的清晰組分與晶體信息。
充分利用易操作的樣品室門和穩(wěn)固耐用的樣品臺來加裝拉力試驗機、納米壓痕儀和加熱模塊,以實現(xiàn)金屬樣品的精細表征。
EVO出色的EDS幾何設(shè)計可用于完成高作業(yè)量、高精度的X射線分析。此外,其靈活的端口配置能為EBSD創(chuàng)建共面幾何結(jié)構(gòu),用以進行晶界、相識別及應(yīng)變與滑移系統(tǒng)活動的微觀結(jié)構(gòu)表征。
出色的光束穩(wěn)定性可用于在大面積樣品上進行長時間EDS和EBSD采集,以確保始終如一地提供可靠且可重復(fù)的結(jié)果。
智能化導(dǎo)航和成像
提高您的樣品處理通量,提升工作效率和性能
蔡司導(dǎo)航相機
相機可安裝在樣品倉中,以監(jiān)測樣品與背散射探測器極靴之間的相對位置(樣品倉相機);或安裝在真空樣品倉門上(導(dǎo)航相機),以概覽樣品載具上的樣品或零部件排列。該視圖可用于預(yù)設(shè)光學(xué)顯微鏡圖像標(biāo)識的感興趣區(qū)域,并在整個樣品檢測過程中實現(xiàn)輕松導(dǎo)航。
自動化智能成像
EVO可以在無人值守的情況下自動完成跨批次樣品的自動化圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合日常檢測應(yīng)用,用戶可以定義邊界區(qū)域、自動生成由所需觀察視野或放大倍率確定的感興趣區(qū)域,并開始自動圖像采集,從而提高您的樣品處理通量,提升工作效率和性能。
蔡司EVO應(yīng)用案例:半導(dǎo)體與電子元器件
典型任務(wù)與應(yīng)用
■電子元器件、集成電路、MEMS裝置和太陽能電池的光學(xué)檢測
■銅線表面和晶體結(jié)構(gòu)檢測
■金屬腐蝕檢測
■橫截面失效分析
■焊腳檢測
■電容器表面成像
蔡司EVO的優(yōu)點
BSE和C2D等一系列探測器,可在VP模式下對半導(dǎo)體材料進行超高襯度形貌和組分成像,無充電假象。
可選的電子束減速系統(tǒng)能夠在最低加速電壓下提供超高分辨率,允許您觀察太陽能電池和集成電路的真實表面細節(jié)。
EVO的靈活性使其可以運用大量第三方的測量與分析模塊,包括EBIC和納米探針,用以進行p-n結(jié)表征和集成電路失效分析。
蔡司EVO應(yīng)用案例:材料科學(xué)研究
典型任務(wù)與應(yīng)用
■在研究應(yīng)用中表征導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料樣品
蔡司EVO的優(yōu)點
EVO可用于安裝一系列成像探測器。在裝備SE和BSE探測器、束流減速裝置及共面EDS和EBSD幾何結(jié)構(gòu)后,EVO將成為一-款靈活的材料分析用研究工具。
快速簡便地在高真空和可變壓力模式之間進行切換,進行導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品檢測。
先進的蔡司探測器技術(shù),包括級聯(lián)電流探測器(C2D)和擴展級聯(lián)電流探測器(C2DX),可在擴展壓力模式和水蒸氣環(huán)境下操作,完成聚合物、塑料、纖維和復(fù)合物的出色成像。